产品中心
  • GSL-3F-PTFE是一款三通道防腐蚀型混气系统,气体通过的所有部分全部都是由聚四氟乙烯材料制作(阀、管道、混气罐和浮子流量计),此款设备设计专门针对于需要通入腐蚀性气体(如H2S、H2Se)的CVD实验。
  • ZF-MFC-1C是一款防腐型单路气体质子流量控制器,结构小巧,操作方便,可用于气体流量的**测量和控制,流量范围0~100,200,300,500SCCM可选,可与本公司管式炉、CVD系统、熔炼铸造炉、镀膜设备等配套使用,直接数字设定流量,稳定可靠,操作方便。
  • CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。