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OTF-1200X-RTP-II 快速蒸发管式炉 |
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产品简介： |
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉，专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD，炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体的顶端和底部，其升温速率高达20ºC/S 。温控系统为PID30段程序化控制，控温精度为+/-1ºC。仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出. |
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真空腔体： |
l 材质：腔体为一高纯石英管
l 尺寸：11" OD x 10.8"ID x 9" H |
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技术参数： |
l 真空法兰：
1) 真空法兰材质为316不锈钢制作
2) 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
3) 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
4) 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封， 通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr，用分子泵其真空度可达到10-5 torr
5) 两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动
6) 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可**测量腔体内真空度
l 混气系统：可选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）
l 加热元件和载样台：
1) 由两组IR红外灯管进行加热
2) 额定功率800 W，总功率1600W
3) 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上
4) 一个3"的基片载样台安装腔体顶部
5) 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x
6) 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料
7) 内炉膛表面涂有
l 热电偶：两个S型热电偶分别安装在上下法兰上
l 温控系统：
1) 两个控温系统都为PID30段程序化控温
2) 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中
l 工作温度：
1) 两个加热区域单独工作的*高温度：<= 650ºC
2) 两个加热区域*大温差：<= 350 ºC
l 加热和冷却速率：
1) 加热速率：>10ºC/S
2) 冷却速率：>20ºC/S ( 650 - 200oC)
l 电源电压：208 - 240VAC, 单相, （需 |
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可选配件： |
真空泵和水冷系统
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CE认证 |