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  • 产品名称：等离子清洗机EQ-PDC-001

  • 产品型号：EQ-PDC-001
  • 产品厂商：MTI
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简单介绍：
EQ-PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机，其等离子腔体尺寸为6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗，同时可以向腔体通入不同的气体（如氧气和惰性气体等），从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理，此款设备极为理想。
详情介绍：
产品型号：

等离子清洗机EQ-PDC-001

产品简介：

      EQ-PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机，其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗，同时可以向腔体通入不同的气体（如氧气和惰性气体等），从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理，此款设备极为理想。

主要特点：

 

技术参数：

输入功率 

 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

输出频率

 13.56 MHz

功率

  • 低档716V DC 10 mA DC 7.2 W 
  • 中档720V DC 15 mA DC 10.5W 
  • **740V DC 40 mA DC 30 W 

等离子腔体 

尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔体

真空泵和阀

  • 仪器中包括有一双极旋片泵，2XZ-2，抽气速率为2L/s, 
  • 泵上安装有一个不锈钢针阀，其接口为宝塔嘴接头

通入的气体 

腔体中可以通入多种气体，如N2, Ar, Air ，也可以通入多种混合气体，以满足实验需要 ，不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中

标准配件：

 

可选配件：
  • 如果基片的直径为2"和4"，可以选购石英架，每个石英架上可以放25片
  • 数字式真空显示计，可以**显示石英腔体内的真空度
产品规格： 11" H x 18" W x 9" D 

质保期：

一年质保  ( 不包括石英腔体和密封圈) 

 质量认证：

 CE Certified