| 性能指标和基本配置 | ||
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| 结构＆特点 |
● 真空腔体为直径6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品 |
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| 基本参数 |
● 温度：*高1500℃ （1200℃以上＜1h） |
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| 温控及加热源 |
● 采用钨丝篮作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制 |
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| 样品台 |
● 仪器顶部安装有样品台，直径为Φ50mm，并设置有挡板，方便控制蒸发镀膜时间 |
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| 进气口 |
● 进气接口为1/4NPS，可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜 |
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| 真空计（可选） |
可选购一数显防腐真空计，测量范围为：3.8x10-5-1125Torr |
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| 膜厚检测仪（可选） |
● 可在本公司选购精密的石英振动薄膜测厚仪安装在溅射仪上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å |
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| 真空系统（选配） |
● 设备上有一KF25接口用于连接真空泵 |
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| 外形尺寸 |
490mm*330mm*560mm |
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| 使用提示 |
● 为了获得高真空度，可采用以下做法 |
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| 应用注意事项 |
● 使用温度高于1300℃时，保温时间不可大于1小时，否则会损坏密封圈 ● 当腔体的各阀门关闭时，请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热 ● 当仪器正在蒸发材料时，不可打开泄气阀或关闭真空泵，只有当加热温度降至100℃时，才可放气或关闭真空泵 ● 蒸镀电流不宜大于40A ● 如误将控温仪表设为手动状态，程序将不能正常运行 ● 此设备仪表程序为秒，200℃之前升温速度不宜大于0.5℃/S ● 如果用户选购了STC-2型薄膜测厚仪，在选用取样片时请按：镀纯金属时用金取样片，镀合金时用银取样片 ● 钨丝篮必须在真空状态下（＜5Pa才能通电加热，否则会被氧化） |
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| 质量认证 |
所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证CE认证/ |
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| 保修期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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