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  • 产品名称：小型PECVD管式炉系统

  • 产品型号：OTF-1200X-50S-PE
  • 产品厂商：科晶
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简单介绍：
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源，一个炉管直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索，此套系统极为理想。
详情介绍：
性能指标和基本配置
开启式管式炉

● 输入电源：208 – 240V AC, 1.2kW
● *高工作温度1200℃（小于1小时）
● 连续使用温度1100℃
● 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率
● 高纯石英炉管，尺寸为 50mmOD x 44mmID x  780mmL
● 可设置30段升降温程序，并带有过热和断偶保护
● 加热区长度为200mm
注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的数据，请与我公司销售人员联系
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等离子体射频电源

● 输出功率: 5 -500W可调
● 稳定性为+/-1%
● 射频电源频率13.56 MHZ, 稳定性±0.005%
● *大反向功率: 200W max
● 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半岛体, 阴极
● 噪声<50 dB.
● 冷却方式：空气冷却
● 输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz

真空法兰和接头

● 真空法兰采用304不锈钢制作
● 左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。
● 右端法兰设计为KF25接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个KF25卡箍
● 仪器中所配的数字真空计，可以不用因使用气体的不同而进行校正，同时还具有防腐功能
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真空泵

● AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
● 2L/s
● 与本公司管式炉配套使用，可使其真空度达到10-2 torr
● 进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
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产品尺寸和重量

外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
净重: 160 lbs

可选配置

● 请点击查看下面的混气及气液混合系统
● 防腐型小型三路浮子混气系统
● 精密气液混合系统
● 三路质子混气系统
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混气系统

● 3个浮子流量计安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。
● 第1路气体流量范围为10-100 cc/min.
● 第2路气体流量范围为16-160 cc/min.
● 第3路气体流量范围为25-250 cc/min.
● 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ，来监测混合气体的压力

开门断电

● 为保证使用**，该电炉为开门断电设计
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应用注意事项 ●炉管内气压不可高于0.02MPa
●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精-确**
●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
●石英管的长时间使用温度＜1100℃
●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证

CE Certified
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保修期 一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

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