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  • 产品名称：5英寸近距离蒸发镀膜炉

  • 产品型号：OTF-1200X-RTP-II-5
  • 产品厂商：MTI
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简单介绍：
OTF-1200X-RTP-II-55英寸近距离蒸发镀膜炉是一款快速热处理炉，其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门实际针对于热蒸发或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜实验，其镀膜面积可达到5"x5"。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管（分别位于顶部和底部），*大升温速率为20ºC/s 。采用PID方式进行温度调节，可设置30段升降温程序。仪器面板上安装有RS485接口，可配用控
详情介绍：

5英寸近距离蒸发镀膜炉技术参数

电压

  • 输入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 单相  ( < 3200W )
  • 输出： 0 - 8VAC （可调）*大电流： 400A 
  • *大功率：4000W（包括真空泵）

真空腔体

  • 不锈钢腔体：280mm ID. x 375 mm H，腔体内壁做了电抛光处理
  • 有两个40mm的观察窗口（采用无氧铜密封圈密封）
  • 一个RF-150法兰，便于放入样品。
  • 一个CF150法兰，可与真空泵相连接
  • 一个CF-16法兰
  • 七个CF-36法兰，便于安装真空计、电极和其他用途备用

真空泵

（点击图片查看详细资料）

  • 仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵
  • 抽速：600L/S
  • 真空度：5.0x10-6 torr（泵开启后40分钟）
  • 极限真空度：5.0x10-7  torr（烘烤温度为100-150℃）
  • 漏气率：5.0x10-7Pa./S

 

蒸发加热源 样品台

  • 5个水冷电极安装在腔体底部，可支持4个钨加热舟
  • 每个钨舟上面安装有可移动的挡板，所以实验时可以实现多源共蒸发，也可实现顺序蒸发
  • 样品台安装在真空腔体顶部，直径为260mm
  • 蒸发源与样品台的距离为300mm

测厚仪

  • 一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部
  • 测量精度为：1.0Å

循环水冷机

  • 仪器使用过程中需要通冷却水，为了节约用水，强烈建议使用循环水冷机
  • 所需水流量>15L/min

   

控制单元

真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内

控制单元和真空腔体独立分开，以便于操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

净重

600kg

质保

一年质保期，终生维护

质量认证

CE认证