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  • 产品名称：500W直流等离子磁控溅射镀膜仪--VTC-2D

  • 产品型号：VTC-2D
  • 产品厂商：MTI
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简单介绍：
VTC-2DC是一款小型的直流（DC）等离子体磁控溅射镀膜仪系统，系统中包含了所有所需的配件，如500W（600V）的DC电源、2"的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜，它是一款物美价廉的实验手。
详情介绍：

技术参数

输入电源

  • 220VAC 50/60Hz, 单相
  • 1000W  (包括真空泵）

等离子源

一个500W，600V的直流电源安装在移动柜内

磁控溅射头

  • 一个 2英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接
  • 靶材尺寸: 直径为50mm,*大厚度1.5mm
  • 一个快速挡板安装在法兰上（手动操作，见图左3）
  • 溅射头所需冷却水：流速10ml/min（仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机）
  • 同时可选配1英寸溅射头

真空腔体

  • 真空腔体：160 mm OD x 150 mm ID x  250mm H，采用高纯石英制作
  • 密封法兰:直径为165 mm .  采用金属铝制作，采用硅胶密封圈密封
  • 一个不锈钢网罩住整个石英腔体，以屏蔽等离子体
  • 真空度：10-3 Torr （采用双极旋片真空泵）
  •         10-5 torr （采涡旋分子泵）

 

 

载样台

  • 载样台可旋转（为了制膜更加均匀）并可加热
  • 载样台尺寸：直径50mm （*大可放置2英寸的基片）
  • 旋转速度：1 - 10 rpm
  • 样品的*高加热温度为700℃，控温精度+/- 1.0℃

真空泵

可选用直联式双极旋片泵,也可选用德国制作的分子泵系统

   

薄膜测厚仪

  • 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å  
  • LED显示屏显示，同时也输入所制作薄膜的相关数据

 

外形尺寸

质保和质量认证

  • 一年质保期，终生维护
  • CE认证

使用注意事项

  • 为了得到较好的金属膜，特别是针对易氧化的金属，如Al, Mg和Li等，必须通入高纯惰性气体（> 5N）
  • 强烈建议采用PPM极的气体净化系统（将钢瓶中的惰性气体通过净化系统过后，再导入到真空腔体内）
  • 我们也可在设备中安装射频(RF)电源，用于溅射非导电靶材，来制备非金属薄膜