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产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪 |
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主要特点 |
1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得 *佳镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。 6、溅射头采用Peltier制冷技术，可得到高性能、精细颗粒的涂层。 7、可用水冷溅射头、水冷载物台。 |
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技术参数 |
1、靶：Φ50mm 2、真空室：Φ160mm×120mm 3、*高真空度：≤4×10-2mbar 4、*大电流：50mA（100mA） 5、可设定*长时间：9999s 6、微型真空气阀：连接Φ3mm软管 7、*高电压：1600V DC 8、机械泵：2L/s |
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产品规格 |
尺寸：360mm×300mm×380mm |
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标准配件 |
1 |
金靶材 |
1个 |
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2 |
进气针阀 |
1个 |
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3 |
保险丝 |
2个 |
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可选配件 |
金、铟、银、铂等各种靶材 |
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产品详情
简单介绍：
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的*简单、可靠、经济的镀膜设备，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。
详情介绍：