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  • 产品名称：混气系统2路浮子

  • 产品型号：CGM-2F
  • 产品厂商：MTI
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简单介绍：
CGM-2F是一款小型的两通道混气系统，用于惰性气体的控制，可用以小型管式炉，手套箱，等离子清洗机，小型PECVD系统等。
详情介绍：
性能指标和基本配置
浮子流量计

两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min

混气罐

内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气

机械压力表（混气罐）

-0.1-0.15 MPa

关键和阀门

● 采用ss304不锈钢
● 三管件接口直径为1/4”（接管可选聚四氟或不锈钢）
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外形尺寸

340 mm L x 300 D mm x 180 H mm

净重

约10 Kg

可选

● CVD或者PECVD
● 液相气体发生器
● 1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X-S50-2F
● Plasma等离子清洗
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保修期 一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

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