产品详情
  • 产品名称:双温区湿度可控氢气热处理炉

  • 产品型号:OTF-1200X-II-80HG
  • 产品厂商:MTI
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简单介绍:
双温区湿度可控氢气热处理炉是一款双温区湿度可控氢气热处理炉,此设备带有两通道气体控制器,气液混合罐,露点仪和氢气探测器,此设备专门设置对材料进行湿氢处理,以达到材料表面部分氧化,同时也进行各种CVD实验。精密露点仪测量精度可以达到 +/-1.5%RH。若有实验中发生氢气微露现象(氢气爆炸点的10%),3M公司的氢气探测器将发生报警信号,使整个实验在优良**的环境下进行。
详情介绍:

双温区湿度可控氢气热处理炉技术参数

 

炉体结构

 


(点击图片查看详细资料)

  • 双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于60℃
  • 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层(可延长设备使用寿命和提高加热效率)
  • 开启式炉体设计,方便更换炉管
  • 仪器包括氢气探测器和蜂鸣报警器,达到**实验
  • 带有气液混合罐,并套有加热环,控制器控制升降温

*大功率

4KW

输入电压

AC 208 - 240V 单相 (需要30A 的空气开关 )

加热元件

掺钼铁铬铝(电阻丝的表面涂有美国进口的高温氧化锆涂层,可以提高加热元件的使用寿命)

加热区长度

  • 两个温区,每个温区长度为200mm,
  • 总温区长度:400mm
  • 恒温区:200mm(两个温区可设置同样的温度)

*高工作温度

1200℃(小于1小时)

连续工作温度

1100℃

建议升温速率

10°C /min

炉管和法兰

  • 高纯石英管:Φ50 (OD)×Φ44 (ID) ×1000 L, mm
  •            Φ60 (OD)×Φ54 (ID) ×1000 L, mm
  •            Φ80 (OD)×Φ74 (ID) ×1000 L, mm
  •           Φ100 (OD)×Φ94 (ID) ×1000 L, mm
  • 304不锈钢法兰,上面安装有机械压力表和针阀,炉管内真空度可以达到10 - 5 torr(采用分子泵)

温控系统

  • 两个温区分别由两个控温仪表独立控制,可设置30段升降温程序。
  • 采用PID方式控制升降温
  • 带有过热和断偶保护
  • 控温精度+/- 1 ºC
  • 炉体面板上有RS485接口,可额外在本公司购买控温软件,可将升温程序和温度曲线导入到电脑中。
  • 控温仪表操作视频
     

气体控制

  • 安装有两个50-500ml/min浮子流量计,控制进气流量
  • 一个浮子流量计直接与法兰相连接,可通入干燥的氢气进入炉管
  • 另一个浮子流量计与气液混合罐,可通入湿氢进入炉管中。
  • 可在本公司选购质量流量计控制系统,可以控制气体流量。

气液混合罐

  • 一个304不锈钢混合罐,容积为600ml( 80OD x 200H, mm)
  • 混合罐放置在一个加热环中

露点仪

  • 一个精密的露点仪,带有KF25接头
  • 测量范围:0 - 100% RH (精度为1.5%FS),-60º ~ +60º DP(精度+/-0.3º)
  • 可调试混合罐的温度和氢气流量来调节水分含量

氢气探测器

  • 工作温度:-18ºC - 65ºC
  • 报警点:氢气爆炸点的10%

仪器尺寸

1400×600×1200mm 

质保期

一年质保期(不包括炉管,密封圈和加热元件等易耗件)

质量认证

CE Certified