产品型号 |
EQ-PCE-8等离子清洗机 |
主要特点 |
1、采用6″彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。 2、内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以**地控制进气流量。 |
技术参数 |
1、电源:AC220V 2、射频功率:*大100W,可在0-100W间调节 3、真空泵功率:<500W 4、总功率:<600W 5、射频:13.56MH 6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径 Φ8.5 ",内径 Φ8.2 ",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法 兰设有一个Φ60mm的观察窗口 7、极限真空度:50mtorr 8、通入气体:可通入多种气体,如N2、Ar、Air、H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) |
清洗及蚀刻 |
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产品规格 |
尺寸:620mm×450mm×600mm |
标准配件 |
1、直连式双旋真空泵(240L/min) 2、KF25波纹管 3、KF25手动挡板阀 |
可选配件 |
1、300W、600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验) 2、2″-6″石英舟(盛放基片) 3、2-4通道浮子混气系统 4、2-4通道质子混气系统 |
产品详情
简单介绍:
EQ-PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Φ8.5 "×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
详情介绍: