产品中心
-
GSL-3F-PTFE是一款三通道防腐蚀型混气系统，气体通过的所有部分全部都是由聚四氟乙烯材料制作（阀、管道、混气罐和浮子流量计），此款设备设计专门针对于需要通入腐蚀性气体（如H2S、H2Se）的CVD实验。
-
GSL-2Z可以用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在GSL-2Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合科晶集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
-
气液混合罐BL-200特别适用于在CVD实验中将液相蒸汽带入到反应腔中。此混合罐的主体采用316不锈钢制作，罐体上部安装有进气出气口和一个机械压力表，两个不锈钢截止阀分别安装在进气和出气口上，两接头都采用Φ6.35卡套接头，使得罐内可承受气压可以承受到0.15Mpa（在正压环境下液体蒸汽量提高），同时罐体可承受温度可以达到250℃。