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  • OTF-1200X-80-I-F3LV isCE certified split-able single zone Tube furnace with 80mm diameter quartz tube, mechanical vacuum pump and three channels gas flowing system, which can achieve vacuum up to 10-2 OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.
  • OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精-确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精-确度为+/- 1 ℃ 。
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