| 技术参数 | |
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| 名称型号 | 快速升温炉OTF-1200X-4-RTP-130 |
| 产品特点 |
红外加热,*快升温速率50℃/S
*大4英寸基片都可以放入退火 法兰安装在滑轨可以直接推拉，实现快速降温。 可以选配压缩波纹管在气氛环境下冷却
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| 加热炉系统 |
输入电源 AC 380V 50HZ，*大功率：24KW
*高工作温度：900℃（＜30min)，长期工作温度：800℃ 控温热电偶：进口K型热电偶，紧贴在放样品ALN片下（ALN片为标配，可按照客户要求定制不同材质基片） 加热元件：红外灯管12根短波红外灯管，每根2KW加热区尺寸：Ф210mm*320mm 室温至900℃：建议升温速率10℃/s*大升温速率50℃/s降温速率：800℃-350℃降温速率55℃/min 350℃-200℃降温速率5℃/min(在一个大气压下，样品架在炉子内） 降温速率：800℃-350℃降温速率200℃/min 350℃-50℃降温速率35℃/min（在一个大气压下，样品架拉到炉体外）标配浮子流量计：16-160ml/min 石英管外径130mmx内径120mmx600mmL包含一款808P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃） PID自动控温系统智能化30段可编程控制 控温精度：±1℃默认DB9PC通信连接端口  
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| 不锈钢密封法兰系统 |
水冷密封法兰，密封法兰和腔体法兰之间采用硅胶O型圈密封方式。
左端法兰装有机械压力表和进气截止阀，左边炉体上留有进气口，进气时，气体通过浮子流量计后进入法兰进气口，然后进入炉管内。 左端法兰内侧有石英制隔热挡板。 右端法兰上装有出气截止阀，一个KF25接口用于抽真空，一个1/4英寸双卡套接头用于插入热电偶。右端法兰内侧有石英制隔热挡板和样品支架，热电偶测温点位于样品正下方。 右端法兰安装在滑轨上可以直接推拉，实现快速退火。
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| 水冷机（选配） |
型号：KJ-5000
工作电压：AC 220V 50HZ 工作电流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h 压缩机功率：300W，水箱容量：6L *大流量：16L/min，净重：24Kg
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| 真空系统（选配） |
配套机械泵，真空度可以达到10-2ttor
配套分子泵，真空度可以达到10-5ttor
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| 产品尺寸 |
外形尺寸：1100*700*660mm（长*宽*高 法兰关闭）
外形尺寸：1400*700*660mm（长*宽*高 法兰打开） 外形尺寸：1100*700*950mm（长*宽*高 炉子打开，法兰打开）   
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| 重量 | 约100kg |
| 保质期 | 1年（不包含炉管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件） |
| 使用注意事项 |
石英管内气压不可高于0.02MPa；
由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保**，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****； 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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