性能指标和基本配置 | ||
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产品特点 |
● 双管设计:外管直径Φ280mm,内管直径Φ254mm,箔材可以缠绕在内管外壁上,然后进行CVD生长 |
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加热区&温度控制 |
● 三个加热区:(总加热区长度:1230mm) |
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工作温度 |
● *高工作温度:1100℃(小于1小时) |
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*高升温速率 |
● 10℃/min (RT~800℃) |
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输入电源 |
● AC 380VAC三相, 50/60 Hz |
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炉管 |
● 两根高纯石英管 |
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真空密封法兰 |
● 配有一套304不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封 |
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送管器 |
手动操作送管器,可以轻松的将内管送入和移除外管 |
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仪器尺寸 |
5400L x 770W x 1500H mm(包含送管器) |
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重量 |
600 kg |
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可选 |
● 可在本公司购买生长石墨烯的铜箔(150m m L x 150mm w x 25um t) |
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应用注意事项 |
● 炉管为高纯石英炉管,设计只能在真空或常压环境下使用,所以炉管内部气压需<0.02MPa。 ● 若要向炉管内通入气体,所用气瓶上必须安装减压阀,可在本公司购买减压阀。 ● 当设备使用温度高于1000℃时,炉管内部不可处于真空状态如要大量通入可燃性气体,如H2或CH4,请与本公司联系,为保证**建议在通风柜中操作,房间内安装H2和CH4探测器。 |
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质量认证 |
所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证CE认证/若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
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保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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