性能指标和基本配置 | ||
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结构&特点 |
● 配置单端封口石英管,一滑轨安装在右侧法兰处用于炉管的手动移动 |
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工作电源 |
● 电压:AC208-240V,50/60Hz |
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*高工作温度 |
1100℃ |
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温度精度 |
±1℃ |
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加热区长度 |
152mm |
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恒温区 |
100mm(±1℃) |
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加热元件 |
硅碳棒4根 |
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热电偶 |
2个S型热电偶:1根用于测量和控制炉体温度,1根用于监测炉管内样品的实时温度 |
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温度控制 |
● 两个温区分别由两个独立的温控系统控制 |
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加热和冷却速率 |
加热速率: 冷却速率: |
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炉管尺寸 |
● 单端封口高纯石英管 |
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滑轨 |
● 镀Cr厚钢板做的双向滑轨 |
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密封法兰 |
● 管子一端安装真空法兰,标配一机械压力表 |
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真空度 |
● 取决于所选真空泵(真空泵不在标配中) |
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产品尺寸 |
400mm L×305mm W×530mm H |
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产品重量 |
~45kg |
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应用注意事项 |
可利用此设备DIY构建快速热蒸发以及物理化学气相沉积工艺,如下图: |
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使用注意事项 |
● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加**** ● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度<1100℃ ● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
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质量认证 |
CE认证 |
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保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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