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  • 产品名称：900℃带3路浮子混气RTP管式炉

  • 产品型号：RTP-1000-LV3C
  • 产品厂商：MTI
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简单介绍：
RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵（真空度达 10-3 torr ）。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达 3" ）退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热，*快升温速度是 100oC/秒. 30 段**温度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。
详情介绍：
 性能指标和基本配置
关于RTP 炉子

● 炉体结构:  双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷,
● 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
● 加热元件:  8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)
● 加热区:    4"X12" length （ +/-5oC ）
● 石英管:    4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
● 真空法兰:  不锈钢制作，带有水冷接口和针阀，双层高温”O“型圈密封。长时间在 > 900oC 条件下运行必须采用水冷
● 循环水流量: 0.5 m3 /hr
● 温控仪:  通过可控硅（SCR)   PID 自动控制
● 带自整定功能的30 程序**控制
● 具有过热保护和断偶保护功能
● 控温精度: +/- 0.5oC
● RS485 接口可与电脑连接
● 包含软件(要求Window XP/7 系统)
● *快升温速度:  室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
● 工作温度:     *高1100oC
● 功率:       208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险)
● 尺寸:       760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
● 重量:       45 kg (100 lbs)

结构图

可滑动的石英样品架, *大可放 3" 基片炉子可以以 100 oC/S升温到1000 oC, 打开上盖可快速降温滑动法兰使得装载样品很容易

可选

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
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关于真空泵和气体流量计

● 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min  ， 精度4%  FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。
● 高速真空泵2TW-4C-220v （真空度可达f 10-2 torr）. 通过橡胶管与RTP炉子相连.
● 4个不锈钢针阀（移动架的侧面）分别控制3路进气和一路混合气。
● 4个压力表（移动架的正面）分别显示每路气体和混气的压力。

外形尺寸

600 mm (L) x 600 mm  (W) x 597 mm ( H)

重量

210 lbs

国家砖利 一种快速高温退火炉；
砖利编号：ZL-2011-2-0077168.4
尊重**、鄙视抄袭、侵权必究
保修期 一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

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