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  • 产品名称：2通道ALD控制单元

  • 产品型号：ALD-GSL-4
  • 产品厂商：MTI
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简单介绍：
ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统，包含4通道质子流量计进**体的混合和输送，可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY，组建一套ALD系统，用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。
详情介绍：
性能指标和基本配置
工作电压&功率

AC220V 单相 50/60Hz  100W

PLC触摸屏

● 通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制
● 可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数（毫秒级）
● 可控制4通道的气体流量（4通道质子流量计，精度±0.2%F.S）
● 真空压力显示
● 请点击图片查看控制界面
● RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上，进行远程控制
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ALD进气阀

● 对于两种前驱体气体的沉积，需2个ALD进气阀进行控制（不包含在设备中）
● 客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购本公司ALD阀
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流量控制

● 四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合
流量范围:
● 一路: 0~100 SCCM
● 二路: 1~199 SCCM
● 三路: 1~199 SCCM
● 四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
● 工作温度：5~45ºC  耐压:3MPa
● 精度: ±1.5% FS  线性: ±1%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
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通气管道

● 内置不锈钢混气罐
● 内部连接管道为1/4”不锈钢管
● 外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316不锈钢针阀   Φ1/4” 不锈钢管

尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

可选配件

● 可选购气液混合装置用于蒸汽的通入，点击下图查看详情
● 客户可另外付费由本公司对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装
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质量认证

CE认证

保修期 一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

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