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  • 产品名称：小型二通道混气系统

  • 产品型号：GSL-2Z-LCD-S
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统，PLC触摸屏控制各通道气路流量，并可实时查看流量数据及曲线，可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用，实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的**控制。
详情介绍：
性能指标和基本配置
基本参数 ● 工作温度：5~45ºC
● *大压力:0.3MPa
● 精度: ±1.5% FS
● 重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
● 一路：1-99   SCCM
● 二路：1-199  SCCM  （其他流量范围可定制）
● 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
输入电源

AC 220V，50/60Hz

功率

100W

PLC触摸屏

各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上
1

混气罐

内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气

机械压力表

● 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
● 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

针阀

316 不锈钢

通气管道

● 内部连接管道为1/4”不锈钢管
● 外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

内置一个不锈钢混气罐，可以良好的混气

机械压力表

● 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
● 量程:-0.1~0.15 MPa

针阀

316 不锈钢

通气管道

● 内部连接管道为1/4”不锈钢管
● 外部通气管道为1/4”聚四氟管

外形尺寸

360 mm L x 300 D mm x 190 H mm
1

产品重量

8.4kg

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1

质量认证

CE认证

保修期 一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

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