性能指标和基本配置 | ||||||
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主要特点 |
● 可制备多种薄膜,应用广泛 |
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磁控溅射头 |
● 仪器中安装有2个2英寸磁控溅射头,而且都带有水冷夹层(图一) |
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载样台 |
● 载样台尺寸:φ140mm(*大可放置4"的基底) |
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RF/DC电源 |
此设备安装有三个溅射电源,根据客户需求可选(以下两款射频电源可任意组合使用) |
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真空腔体 |
● 真空腔体:φ300 mm x 300 mm H,采用不锈钢制作 |
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气体流量控制器 |
● 仪器内部安装有2个质量流量计,量程为:0-100sccm |
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真空系统 |
● 配有一套GZK-103D分子泵系统(德国制作) |
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薄膜测厚仪(可选) |
● 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å |
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产品尺寸 |
L 1300mm× W 660mm× H 1200mm |
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净重 | 160 kg | |||||
使用提示 |
● 此设备为DIY设备,参数变化较大购买前请务必电话仔细沟通 |
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警告 |
● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 |
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认证 |
CE认证 |
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保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 |
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