性能指标和基本配置 | ||||||
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主要特点 |
● 多种溅射靶头及电源可选,自由组合,具体请致电我公司销售部。 |
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溅射腔体 |
● 真空腔体采用304不锈钢制作 |
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溅射头&样品台 |
● 5个1英寸的磁控溅射头,带有水冷夹层(图一) |
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样品台 |
● 直径为150mm的样品台,上面覆盖一旋转台,带有10mm的孔洞,每次露出一个样品接收溅射成膜。 |
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真空系统 |
● 安装有KF40真空接口 |
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进气 |
● 设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶 |
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靶材 |
● 所要求靶材尺寸:直径为25mm,*大厚度3mm |
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薄膜测厚仪(可选) |
可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上 |
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净重 | 60 kg(不包括泵) | |||||
使用提示 |
● 此设备为DIY设备,参数变化较大购买前请务必电话仔细沟通 |
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警告 |
● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 |
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认证 |
CE认证 |
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保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 |
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