性能指标和基本配置 | ||||||
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用直流磁控溅射仪可获得单相Al膜 | ||||||
主要参数 |
● 输入电源:220V AC 50Hz |
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溅射腔体 |
● 采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 250 mm H(配置直靶头) |
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溅射头&样品台 |
溅射头安装靶材直径为2英寸,同时可选配1英寸溅射头 |
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真空系统 |
● 安装有KF25真空接口 |
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进气 |
● 设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶 |
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靶材 |
● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度) |
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薄膜测厚仪(可选) |
可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上 |
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产品尺寸 |
540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H |
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净重 | 70 kg(不包括泵) | |||||
使用提示 |
● 有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜 |
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警告 |
● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 |
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认证 |
CE认证 |
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保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 |
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