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  • 产品名称：3英寸迷你型等离子清洗机

  • 产品型号：PDC-36G
  • 产品厂商：MTI
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简单介绍：
PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下，去除速率*大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理，对生长具有显著的作用 。
详情介绍：
性能指标和基本配置
主要特点

● 结构紧凑、小型化的桌上型仪器
● 用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物。
● 在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优良工具。清洗后镀膜的质量可以更好。
● 铰链式门，方便装样
● 石英腔的直径是3英寸，在里面可以放入一个石英舟，*大清洗一个2英寸的基片。
● 清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更换
● 使用可调射频电源，可以设置功率为低、中、**别；低成本、操作**。

主要参数

● 低功率设定：直流680V，10mA,6.8W;
● 中。功率设定：直流700V，15mA,10.5W;
● 高功率设定：直流720V，25mA,18W;
● 射频源输出频率：13.56MHz;
● 等离子直流电源：
● 输入电压：220V,50Hz

等离子腔室

● 直径75mmx长200mm的石英墙体，前盖可以开启。
● 高纯度石英腔体，使用寿命比玻璃长。

真空计

设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。

可选配件

● 您可以订购额外的石英腔体，用于备用。
● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合（点击下面**张图片了解详情）
● 您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片
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真空泵和阀

此设备不包含真空泵。

工作气体

● 多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。
● 可以使用<4％的H2混合惰性气体
● 警示：不能使用可燃性及腐蚀性气体。

等离子清洗及刻蚀的方法

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外形尺寸

353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

净重

（不含泵）8kg

工作原理

等离子清洗机工作原理

质量认证

CE认证

保修期 一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

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