产品详情
查看大图

  • 产品名称：多通道质子流量计控制系统

  • 产品型号：GSL-LCD
  • 产品厂商：科晶
  • 产品价格：0
  • 折扣价格：0
  • 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍：
GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜*大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
详情介绍：
 性能指标和基本配置
功能 双通道 三通道 四通道 五通道
质子流量控制器

工作温度：5~45ºC  
*大压力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
重复精度: ±0.2%F.S.

流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度：5~45 ºC
*大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
*大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
*大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制

输入电源

AC 220V/50Hz单相

功率

23W

PLC触摸屏

● 各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上
● RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制
1 1

机械压力表

● 有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
● 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

针阀

316 不锈钢

通气管道

● 内部连接管道为1/4”不锈钢管
● 外部通气管道为1/4”聚四氟管
1

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

● 316不锈钢针阀
● Φ1/4” 不锈钢管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

相关产品

CVD & PECVD 管式炉      （点击图片查看详细资料）
1

质量认证

CE认证

保修期 一年保修，终身技术支持。
特别提示：
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

免责声明：本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，科晶公司不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。