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  • 产品名称：2英寸高真空磁控溅射头

  • 产品型号：HVMSS-SPC-2-LD
  • 产品厂商：MTI
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简单介绍：
HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
详情介绍：
 技术参数

特征

(点击图片查看详细资料）

 
  • 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作
  • 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布
  • 磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命
  • 标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配
  • 安装是采用标准真空接头，便于操作
  • 更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度

所需功率
  • DC（*大）1000W
  • RF（*大）500W

*大溅射电流

3A

溅射电压

100-1000 V

溅射时腔体真空度

5-100 mTorr

溅射均匀性曲线图

尺寸
  • 阳极护套直径：3.5英寸
  • 总长度：14英寸

靶材
  • 直径: 2.0英寸(50.8mm)
  • 厚度: 对于非磁性靶材，*大厚度为1/4英寸
                  对于磁性靶材，*大厚度为1/16英寸
  • 靶材利用率：30%
  • 磁铁:NdFeB 稀土磁铁

需要冷却水
  • 流速:   0.8 GPM
  • 进水温度:<20 ℃
  • 水管:0.25" OD.

可选配件
  • 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头
  • 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
     
  • 循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
外形尺寸

质保

一年质保期，终生维护