产品详情
简单介绍：
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜。
详情介绍：
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产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪 |
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主要特点 |
1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得 *佳镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。 6、已通过CE认证。 |
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技术参数 |
1、电源：220V 2、总功率：<2000W（包括真空泵） 3、真空室：Φ160mm×120mm 4、样品台：Φ50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 5、*大均匀镀膜：Φ45mm |
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产品规格 |
尺寸：400mm×300mm×400mm；重量：30kg |
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标准配件 |
1 |
金靶材 |
1个 |
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2 |
进气针阀 |
1个 |
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3 |
保险丝 |
2个 |
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可选配件 |
金、铟、银、铂等各种靶材 |
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